具有有纹理的内表面的处理室部件和制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN02807777.6
IPC分类号：H01J37/32
申请日期：
2002-06-24
申请人：
应用材料公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	具有有纹理的内表面的处理室部件和制造方法
申请号	CN02807777.6	申请日期	2002-06-24
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2004-08-18	公开/公告号	CN1522457
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	应用材料公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	应用材料公司	当前权利人	应用材料公司
发明人	林士能;马克·D·孟席;乔·F·萨默斯;丹尼尔·欧文·克劳森;格伦·T·莫里;洛利塔·L·夏普
代理机构	北京东方亿思知识产权代理有限责任公司	代理人	杜娟;肖善强

摘要

用于等离子处理室的穹形围壁用具有平均粗糙度从约150到约450微英寸(约3.81-11.43微米)的粗糙化表面的介电材料制造。等离子喷涂陶瓷涂层被涂敷于介电材料的粗糙化表面。等离子喷涂涂层包括具有负平均偏度值粗糙度的有纹理的表面。当围壁用于等离子处理室时，在等离子处理室中形成的、由等离子体产生的溅射材料与有纹理的表面有良好的附着。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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