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晶圆图文件生成方法、装置、设备及存储介质

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110606202.0
  • IPC分类号:G06T11/60
  • 申请日期:
    2021-05-31
  • 申请人:
    深圳米飞泰克科技有限公司
著录项信息
专利名称晶圆图文件生成方法、装置、设备及存储介质
申请号CN202110606202.0申请日期2021-05-31
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-09-14公开/公告号CN113393557A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G06T11/60IPC分类号G;0;6;T;1;1;/;6;0查看分类表>
申请人深圳米飞泰克科技有限公司申请人地址
广东省深圳市龙岗区宝龙街道清风大道28号安博科技厂区1号厂房1、5、6层 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳米飞泰克科技有限公司当前权利人深圳米飞泰克科技有限公司
发明人王英广;王健;孔晓琳;栗伟斌;李安平
代理机构深圳中一联合知识产权代理有限公司代理人赵倩
摘要
本申请提供一种晶圆图文件生成方法、装置、设备及存储介质,所述方法应用于中转设备中,中转设备分别与探针台和测试设备连接,所述方法包括:接收探针台发送的包括晶圆上待测试的第一芯片的位置信息的第一测试指令,根据第一测试指令向测试设备发送第二测试指令,以指示测试设备对第一芯片进行测试,接收测试设备发送的包括第一芯片的测试结果的第一测试响应指令,根据第一测试指令和第一测试响应指令生成预设文件规则的晶圆图文件。由于中转设备自定义了一种预设文件规则,因此中转设备无论通过何种类型的探针台进行晶圆测试,均能够生成具有统一文件规则的晶圆图文件,有利于生产管控以及数据的统计、分析和加工。

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