微机械装置和制造这种装置的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN02149851.2
IPC分类号：--
申请日期：
2002-11-07
申请人：
森桑诺尔有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	微机械装置和制造这种装置的方法
申请号	CN02149851.2	申请日期	2002-11-07
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2003-05-14	公开/公告号	CN1417105
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	森桑诺尔有限公司	申请人地址	挪威霍顿变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	森桑诺尔有限公司	当前权利人	森桑诺尔有限公司
发明人	H·哈比比;N·赫登斯蒂尔纳
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	崔幼平

摘要

一种制造多层微机械装置的方法。该装置包括其中具有微机械部件的内腔，该方法包括以下步骤：由第一材料层形成微机械部件；在该第一材料层的至少一个表面上设置密封层，由此形成该内腔；在该腔内配置吸气剂；用阳极连接法将第一材料连接在该密封层上，并向该内腔输送惰性气体，以调节腔内压力。文中还披露了使用这种方法制成的相应装置。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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