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一种压电喷头结构及其制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201810064321.6
  • IPC分类号:B41J2/14;B41J2/16
  • 申请日期:
    2018-01-23
  • 申请人:
    上海新微技术研发中心有限公司
著录项信息
专利名称一种压电喷头结构及其制造方法
申请号CN201810064321.6申请日期2018-01-23
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2019-07-30公开/公告号CN110065305A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B41J2/14IPC分类号B;4;1;J;2;/;1;4;;;B;4;1;J;2;/;1;6查看分类表>
申请人上海新微技术研发中心有限公司申请人地址
上海市嘉定区城北路235号3号楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海新微技术研发中心有限公司当前权利人上海新微技术研发中心有限公司
发明人王诗男
代理机构北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙)代理人暂无
摘要
本申请提供一种压电喷头结构及其制造方法。该压电喷头结构,包括压电基板单元和围封部件,其中,所述压电基板单元包括:压电基板,在该压电基板的相对的两主面上分别形成的沟道;以及在该沟道的至少侧壁上形成的驱动电极,所述围封部件对该沟道的至少一部分进行围封,所述围封部件与所述沟道的侧壁和底面围合成压力腔室。根据本申请,在不降低喷嘴密度的情况下采用较厚的压电基板来制造压电喷头,从而可以减少加工时的压电基板破损,提高压电喷头制造工艺的容易性以及压电喷头的成品率、降低制造成本,并且在结构上容易实现高密度喷嘴排列,提高喷头性能和性价比。

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