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基板保持装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510772413.6
  • IPC分类号:H01L21/687
  • 申请日期:
    2015-11-12
  • 申请人:
    株式会社荏原制作所
著录项信息
专利名称基板保持装置
申请号CN201510772413.6申请日期2015-11-12
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-05-25公开/公告号CN105609461A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/687IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;7查看分类表>
申请人株式会社荏原制作所申请人地址
日本东京都大田区羽田旭町11番1号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社荏原制作所当前权利人株式会社荏原制作所
发明人丰村直树;宫崎充;井上拓也
代理机构上海市华诚律师事务所代理人梅高强;张丽颖
摘要
本发明提供一种改良后的基板保持装置,即使对弹簧施加较大的离心力,也能够使弹簧的变形为最小,其中,该弹簧用于对支承基板的支柱施力。基板保持装置具有:支柱(2),其在轴向上移动自如;夹头(3),其设置于支柱(2),夹持基板W的周缘部;弹簧(30),其对支柱(2)向该支柱(2)的轴向施力;第1构造体(31),其限制弹簧(30)的上侧部位向与轴向垂直的方向移动;以及第2构造体(33),其限制弹簧(30)的下侧部位向与轴向垂直的方向移动。

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