一种节能高效型黑硅生产装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201910219903.1
IPC分类号：C30B33/08;C30B29/06
申请日期：
2019-03-22
申请人：
江苏德润光电科技有限公司

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引证文献

著录项信息

专利名称	一种节能高效型黑硅生产装置
申请号	CN201910219903.1	申请日期	2019-03-22
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2020-09-29	公开/公告号	CN111719185A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B33/08 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B33/00 单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的后处理（C30B 31/00优先）〔3，5〕 C30B33/08 侵蚀〔5〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;3;/;0;8;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	江苏德润光电科技有限公司	申请人地址	江苏省扬州市高邮经济开发区凌波路变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏德润光电科技有限公司	当前权利人	江苏德润光电科技有限公司
发明人	何其金;张靖;何飞
代理机构	北京科家知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	艾秀丽

摘要

本发明涉及半导体制造技术领域，且公开了一种节能高效型黑硅生产装置，包括箱体、喷雾发生装置、T形管、阀门、喷雾头、挡板、风机、通风管、收集箱、连接管、出料孔、出料滑板、上料滑板、进料孔、缓冲滑板、支撑架、电动伸缩杆、固定桶和黑硅晶片，所述箱体的顶部固定安装有数量为两个且呈对称分布的喷雾发生装置，所述喷雾发生装置的输出端连通有一端贯穿并延伸至箱体内部的T形管。该节能高效型黑硅生产装置，且通过风机对多余的喷雾进行收集，通过通风管和连接管进入到收集箱的内部，在使用喷雾代替全液相的基础上，进一步节约资源，且操作简单，可以实现半自动化生产，增加了生产效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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