单层多自由度气静压纳米定位平台

实用新型专利无效专利

申请号：
CN02246809.9
IPC分类号：--
申请日期：
2002-08-08
申请人：
财团法人工业技术研究院

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法律信息

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著录项信息

专利名称	单层多自由度气静压纳米定位平台
申请号	CN02246809.9	申请日期	2002-08-08
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	财团法人工业技术研究院	申请人地址	台湾省新竹县竹东镇中兴路四段195号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	财团法人工业技术研究院	当前权利人	财团法人工业技术研究院
发明人	钟裕亮;王维汉;蔡锦溢;何世江
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	朱黎光

摘要

一种单层多自由度气静压纳米定位平台，为一微动平台精密定位装置，主要是于一固定底座上以气静压轴承装设工作平台，并在固定底座与工作平台相对的X、Y、Z平面上装设电磁力致动模组以及位移感测器；藉此，利用电磁力控制技术，应用于气静压平台装置，以平台外部的感测器直接测量平台位置，所得测量资料作为回馈信号，以获得平台精度的补偿，进而以单层结构达成多自由度纳米定位平台的高精度需求。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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