一种管道监测装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201921553275.2
IPC分类号：F17D5/02;F17D5/00;F17D3/01;G01D21/02
申请日期：
2019-09-18
申请人：
武汉新芯集成电路制造有限公司

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著录项信息

专利名称	一种管道监测装置
申请号	CN201921553275.2	申请日期	2019-09-18
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F17D5/02 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F1 一般工程 F17 气体或液体的贮存或分配 F17D 管道系统；管路（配水入E03B；泵或压缩机入F04；流体动力学入F15D；阀或类似件入F16K；管子、铺设管子、支撑、连接、支管、管路维修、管路上的工作、附件入F16L；凝汽阀或类似件入F16T；液体压力电缆入H01B 9/06） F17D5/00 保护装置或观测装置（保护基础的装置入E02D 31/00；保护管子不受损坏或内外磨损入F16L 57/00；防止腐蚀或锈蚀入F16L 58/00：结构部件的流体密封性试验入G01M 3/00）〔2〕 F17D5/02 漏失的预防、检查和确定位置〔2〕	IPC分类号	F;1;7;D;5;/;0;2;;;F;1;7;D;5;/;0;0;;;F;1;7;D;3;/;0;1;;;G;0;1;D;2;1;/;0;2查看分类表>
申请人	武汉新芯集成电路制造有限公司	申请人地址	湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	武汉新芯集成电路制造有限公司	当前权利人	武汉新芯集成电路制造有限公司
发明人	张明
代理机构	上海申新律师事务所	代理人	俞涤炯

摘要

本实用新型涉及管道检测技术领域，尤其涉及一种半导体制造设备的管道监测装置，连接流体传输管道，管道监测装置包括：一泄压阀，泄压阀的入口端通过一连接部件连接流体传输管道，泄压阀的出口端连接一储液桶，当流体传输管道内的压力高于一第一预设值时，泄压阀自动开启将流体传输管道内的流体排放到储液桶内储存。本实用新型技术方案的有益效果在于：提供一种管道监测装置，通过泄压阀调节流体传输管道内的压力，防止流体传输管道内的压力过高而发生爆管；管道监测装置的结构简单，安装方便，适用于多种机台的监测，具有较高适应性，降低机台附属设备成本。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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