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一种多结太阳电池减反射膜及其制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510744419.2
  • IPC分类号:H01L31/18;H01L31/0216
  • 申请日期:
    2015-11-06
  • 申请人:
    上海空间电源研究所
著录项信息
专利名称一种多结太阳电池减反射膜及其制备方法
申请号CN201510744419.2申请日期2015-11-06
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-05-17公开/公告号CN106684205A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/18IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;3;1;/;0;2;1;6查看分类表>
申请人上海空间电源研究所申请人地址
上海市闵行区东川路2965号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海空间电源研究所当前权利人上海空间电源研究所
发明人石梦奇;李欣益;王训春;张玮;周大勇;陆宏波;沈静曼
代理机构上海航天局专利中心代理人金家山
摘要
本发明提供一种多结太阳电池减反射膜及其制备方法,本发明所提供的多结太阳电池减反射膜的制备方法包括:步骤一、选择材料分别进行单层沉积;获得对应沉积条件下,沉积入射角与沉积速率的关系;步骤二、测量步骤一得到的各单层膜的光学参数,获得在对应沉积条件下,沉积入射角、沉积速率、光学参数的对应关系;通过仿真程序设计减反射膜结构,优化各层厚度,使得在确定总厚度及沉积条件下,整个减发射膜的平均反射率在300~1700nm范围内最小。本发明所提供的多结太阳电池减反射膜的反射率在300~1700nm内的反射率小于0.25%。

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