一种用于分析三氯氢硅中痕量杂质的前处理装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201420668158.1
IPC分类号：G01N1/28
申请日期：
2014-11-11
申请人：
亚洲硅业（青海）有限公司

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专利名称	一种用于分析三氯氢硅中痕量杂质的前处理装置
申请号	CN201420668158.1	申请日期	2014-11-11
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N1/28 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N1/00 取样；制备测试用的样品（用于自动分析的材料处理入G01N 35/00） G01N1/28 测试用样品的制备（将样品安装在显微镜载片上入G02B 21/34；电子显微镜中支承被分析的物品或材料的装置入H01J 37/20）	IPC分类号	G;0;1;N;1;/;2;8查看分类表>
申请人	亚洲硅业（青海）有限公司	申请人地址	青海省西宁市城东经济技术开发区金硅路1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	亚洲硅业（青海）有限公司,亚洲硅业(青海)股份有限公司	当前权利人	亚洲硅业（青海）有限公司,亚洲硅业(青海)股份有限公司
发明人	张福海;蔡延国;王生红;刘元香;征取;季静佳
代理机构	兰州中科华西专利代理有限公司	代理人	李艳华

摘要

本实用新型涉及一种用于分析三氯氢硅中痕量杂质的前处理装置，该装置包括密闭装置主体、混合气体收集器、吸收塔、与所述密闭装置主体相连的样品瓶。所述密闭装置主体的一侧设有混合气体出口接口，其中部设有氮气进口接口，其内壁设有螺纹Ⅰ；所述氮气进口接口通过硅胶管Ⅰ依次连接流量计、氮气控制阀至氮气管路；所述混合气体出口接口通过硅胶管Ⅱ与所述混合气体收集器相连，该混合气体收集器的一端经混合气体进口与所述吸收塔相连；所述吸收塔的一侧设有自来水出口，其顶部设有未反应的其它气体出口，其塔内上部设有带喷啉头的自来水管线，该自来水管线外接自来水总管；所述样品瓶设有外罩。本实用新型操作简单、重现性较好，可避免样品污染。

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