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在测量桌上检测掩模夹具的位置的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201780025059.8
IPC分类号：G03F7/20;G01B11/03;G03F1/84;H01L21/67;G01N21/956
申请日期：
2017-04-20
申请人：
卡尔蔡司SMT有限责任公司

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	在测量桌上检测掩模夹具的位置的方法
申请号	CN201780025059.8	申请日期	2017-04-20
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-12-21	公开/公告号	CN109073991A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/20 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/20 曝光及其设备（复制用照相印制设备入G03B 27/00）〔4〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;1;B;1;1;/;0;3;;;G;0;3;F;1;/;8;4;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;G;0;1;N;2;1;/;9;5;6查看分类表>
申请人	卡尔蔡司SMT有限责任公司	申请人地址	德国上科亨变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	卡尔蔡司SMT有限责任公司	当前权利人	卡尔蔡司SMT有限责任公司
发明人	H-M.索罗万
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	邱军

摘要

本发明涉及一种检测光刻掩模(2)的掩模夹具(1)的位置的方法，该方法包含以下步骤：在测量设备的测量桌上定位具有掩模(2)的掩模夹具(1)；通过算法测量掩模夹具(1)；记录测量桌上的掩模夹具(1)的绝对位置；以及捕获和记录至少一个参考图像。

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