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一种粉体弹跳式均匀镀膜的装置和方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910896816.X
  • IPC分类号:C23C14/35
  • 申请日期:
    2019-09-19
  • 申请人:
    金陵科技学院
著录项信息
专利名称一种粉体弹跳式均匀镀膜的装置和方法
申请号CN201910896816.X申请日期2019-09-19
法律状态实质审查申报国家暂无
公开/公告日2019-12-24公开/公告号CN110607511A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/35IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;5查看分类表>
申请人金陵科技学院申请人地址
江苏省南京市江宁区弘景大道99号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人金陵科技学院当前权利人金陵科技学院
发明人张冷
代理机构南京知识律师事务所代理人吴频梅;陈卓
摘要
本发明涉及一种粉体跳动式均匀镀膜的方法,涉及一种在粉体表面涂敷薄膜的技术,具体涉及一种利用弹跳式溅射设备或离子镀设备在粉体表面镀膜的方法。本发明是在球体表面制备薄膜,采用磁控溅射法将粉末体反复扬起、落下,通过控制溅射时长即可在粉体表面制备所需厚度的均匀薄膜。粉末体受到样品台的内部弹簧体的弹力作用产生上扬的力,受到自身重力的作用从半空落向样品台。粉末体在上升、降落的过程中会与其它粉末体发生碰撞,进一步提高了分散性。这一过程中粉末有充分的暴露面积,因此制得的薄膜可以在粉体颗粒表面包覆均匀。

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