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第13族金属氮化物结晶的制造方法、半导体器件的制造方法和这些制造方法中使用的溶液和熔融液

发明专利无效专利

申请号：
CN200680029888.5
IPC分类号：C01B21/06;C30B9/12;C30B29/38;H01L33/00
申请日期：
2006-08-11
申请人：
三菱化学株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	第13族金属氮化物结晶的制造方法、半导体器件的制造方法和这些制造方法中使用的溶液和熔融液
申请号	CN200680029888.5	申请日期	2006-08-11
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2008-08-13	公开/公告号	CN101243011
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B21/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B21/00 氮；其化合物 C01B21/06 氮与金属、硅或硼的二元化合物	IPC分类号	C;0;1;B;2;1;/;0;6;;;C;3;0;B;9;/;1;2;;;C;3;0;B;2;9;/;3;8;;;H;0;1;L;3;3;/;0;0查看分类表>
申请人	三菱化学株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	三菱化学株式会社	当前权利人	三菱化学株式会社
发明人	田原岳史;关义则;寺田秀;竹内佐千江;有田阳二;久保田浩平
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	张平元

摘要

本发明涉及一种第13族金属氮化物结晶的制造方法，其特征在于，具有如下工序：将含有周期表第13族金属元素和周期表第13族以外的金属元素的复合氮化物溶解在离子性溶剂中，制备溶液或熔融液，在该溶液或熔融液中进行第13族金属氮化物结晶的生长。按照该制造方法，能够在低压或常压下，以工业上廉价的方法制造品质优良的第13族金属氮化物结晶。

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