基于固态变焦透镜的非接触式激光测厚装置及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201811182632.9
IPC分类号：G01B11/06
申请日期：
2018-10-11
申请人：
中国人民解放军国防科技大学

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著录项信息

专利名称	基于固态变焦透镜的非接触式激光测厚装置及方法
申请号	CN201811182632.9	申请日期	2018-10-11
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-11-16	公开/公告号	CN108827172A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先） G01B11/06 用于计量厚度	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;6查看分类表>
申请人	中国人民解放军国防科技大学	申请人地址	湖南省长沙市开福区德雅路109号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国人民解放军国防科技大学	当前权利人	中国人民解放军国防科技大学
发明人	邹永超;王俊;陈祥国;徐攀;赵学谦;马丽娜;胡正良
代理机构	长沙中科启明知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	任合明

摘要

本发明涉及光学测量领域，涉及一种基于固态变焦透镜的激光测厚装置及方法。所述装置由激光器，光强可调衰减器，第一准直透镜，显微透镜，空间滤波器，第二准直透镜，光阑，分光棱镜，第一像差矫正透镜，第一固态变焦透镜组件，第二固态变焦透镜组件，第二像差矫正透镜，待测物，聚焦透镜，光电探测器，数据传输线，信号控制、数据处理及显示模块，控制信号传输线组成。本发明比传统变焦透镜组更为简单紧凑，比液体透镜更为稳定，性能优越，接近衍射极限。通过全电控闭环调节固态变焦透镜焦距，改变出射光束在待测物上聚焦位置，利用激光自准直效应，记录反射光强极大值位置，实现对待测物厚度测量，测量过程中无需对待测物进行精确移动或装调。

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