双腔式双金属膜热驱动微型泵

实用新型专利无效专利

申请号：
CN01207658.9
IPC分类号：--
申请日期：
2001-03-23
申请人：
清华大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	双腔式双金属膜热驱动微型泵
申请号	CN01207658.9	申请日期	2001-03-23
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	清华大学	申请人地址	北京市海淀区清华园变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学	当前权利人	清华大学
发明人	胡桅林;徐宁;过增元;戴诗亮
代理机构	北京清亦华专利事务所	代理人	廖元秋

摘要

本实用新型属于微电子机械系统领域,包括由单晶硅膜、金属铝膜和位于二者之间的多晶硅加热电阻以及作为电隔离介质的二氧化硅所组成的复合膜片,单晶硅膜具有入口、出口阀门,阀门由单晶硅悬臂梁阀片和单晶硅环形阀座中央通孔结合而成,复合膜片与阀门间构成密闭的泵腔,泵腔为设置在复合膜片的上、下两侧的双腔结构。本实用新型充分利用膜片受热变形的能量,降低热泵工作过程中的机械能损失,最大限度的提高微泵的流量和泵送效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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