通过杠杆扫描的高精度压电扫描器及其扫描探针显微镜

发明专利有效专利

申请号：
CN201510734666.4
IPC分类号：G01Q10/02;G01Q60/00
申请日期：
2015-10-30
申请人：
中国科学院合肥物质科学研究院

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著录项信息

专利名称	通过杠杆扫描的高精度压电扫描器及其扫描探针显微镜
申请号	CN201510734666.4	申请日期	2015-10-30
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2017-05-10	公开/公告号	CN106645802A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01Q10/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01Q 扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术〔SPM〕〔2010.01〕 G01Q10/00 扫描或定位设备，即主动控制探针的运动或位置的设备〔2010.01〕 G01Q10/02 粗扫描或定位〔2010.01〕	IPC分类号	G;0;1;Q;1;0;/;0;2;;;G;0;1;Q;6;0;/;0;0查看分类表>
申请人	中国科学院合肥物质科学研究院	申请人地址	安徽省合肥市蜀山湖路350号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院合肥物质科学研究院	当前权利人	中国科学院合肥物质科学研究院
发明人	陆轻釉
代理机构	安徽合肥华信知识产权代理有限公司	代理人	余成俊

摘要

本发明公开了一种通过杠杆扫描的高精度压电扫描器及其扫描探针显微镜，包括X形变压电体、扫描杆、第一钳位片、第二钳位片，所述第一钳位片固定于X形变压电体形变的一端，X形变压电体形变的另一端为其自由端，第二钳位片固定于该自由端并钳住扫描杆的一端，扫描杆的另一端为其扫描端，扫描杆垂直于X形变压电体的形变方向，第一钳位片钳住扫描杆的中部，X形变压电体的X形变带动扫描杆围绕第一钳位片钳住扫描杆的地方做杠杆转动，也即带动扫描杆的扫描端做X方向扫描。若X形变压电体换成XY形变压电体可得两维杠杆扫描情形。通过调节支点位置，可使压电扫描器自由端的不稳定性通过扫描杆的杠杆减弱作用，从而实现高精度、高稳定扫描。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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