晶圆自动取放机械手

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201320100525.3
IPC分类号：H01L21/687;H01L21/683;B25J9/08;B25J15/06
申请日期：
2013-03-06
申请人：
昆山富利瑞电子科技有限公司

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著录项信息

专利名称	晶圆自动取放机械手
申请号	CN201320100525.3	申请日期	2013-03-06
法律状态	放弃专利权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/687 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/683 用于支承或夹紧的（用于定位、定向或对准的入H01L 21/68）〔8〕 H01L21/687 使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;8;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;3;;;B;2;5;J;9;/;0;8;;;B;2;5;J;1;5;/;0;6查看分类表>
申请人	昆山富利瑞电子科技有限公司	申请人地址	江苏省苏州市昆山市玉山镇都市路88号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	昆山富利瑞电子科技有限公司	当前权利人	昆山富利瑞电子科技有限公司
发明人	周振根
代理机构	昆山四方专利事务所	代理人	盛建德

摘要

本实用新型公开了一种晶圆自动取放机械手，机械手臂能够在水平面内直线往复滑动定位于水平伸展定位板上，水平伸展定位板能够绕竖直方向轴线旋转定位于垂直升降板上，垂直升降板能够沿竖直方向直线升降定位于基座上，所述水平伸展驱动装置、水平旋转驱动装置和垂直升降驱动装置分别驱动机械手臂、水平伸展定位板和垂直升降板动作，且所述机械手臂上设有至少一个吸盘，控制器分别控制水平伸展驱动装置、水平旋转驱动装置、垂直升降驱动装置和吸盘的真空吸引装置动作，本实用新型能够快速的将晶圆放入或取出晶圆盒，全自动化控制，无需人工辅助，取放速度快，取放位置准确。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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