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一种用于基板电镀水平输送的输送装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201420162822.5
  • IPC分类号:C25D17/28;C25D7/00;H05K3/18
  • 申请日期:
    2014-04-04
  • 申请人:
    亚智系统科技(苏州)有限公司
著录项信息
专利名称一种用于基板电镀水平输送的输送装置
申请号CN201420162822.5申请日期2014-04-04
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C25D17/28IPC分类号C;2;5;D;1;7;/;2;8;;;C;2;5;D;7;/;0;0;;;H;0;5;K;3;/;1;8查看分类表>
申请人亚智系统科技(苏州)有限公司申请人地址
江苏省苏州市苏州市高新区昆仑山路68号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人亚智系统科技(苏州)有限公司当前权利人亚智系统科技(苏州)有限公司
发明人郭富强
代理机构广州市红荔专利代理有限公司代理人张文
摘要
本实用新型公开了一种用于基板电镀水平输送的输送装置,包括机体、滚轮传输装置、阴极夹持传输装置和同步控制装置,所述滚轮传输装置、阴极夹持传输装置和同步控制装置分别设置在所述机体上,所述阴极夹持传输装置垂直设置在所述滚轮传输装置的一侧,所述同步控制装置包括速度反馈装置和信号处理装置,所述速度反馈装置分别设置在所述滚轮传输装置和所述阴极夹持传输装置上,并且所述速度反馈装置与信号处理装置电气连接。采用本技术方案的有益效果是:确保基板在电镀槽中行进时的稳定性及质量,确保基板在受电镀槽中喷流作用下可维持行进间之张力而不损伤,获得质量极佳且均匀的电镀层。

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