全压电并排推动的三摩擦力步进器与扫描探针显微镜镜体

发明专利无效专利

申请号：
CN201110255691.6
IPC分类号：H01L25/03;H01L41/09;G01Q60/00
申请日期：
2011-09-01
申请人：
中国科学技术大学

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专利名称	全压电并排推动的三摩擦力步进器与扫描探针显微镜镜体
申请号	CN201110255691.6	申请日期	2011-09-01
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2012-02-08	公开/公告号	CN102347318A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L25/03 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L25/00 由多个单个半导体或其他固态器件组成的组装件（在一共用基片内或其上形成的由多个固态组件组成的器件入H01L 27/00；光伏电池的光伏模块或者阵列入H01L 31/042）〔5〕 H01L25/03 所有包含在H01L 27/00至H01L 51/00各组中同一小组内的相同类型的器件，例如整流二极管的组装件〔5，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;5;/;0;3;;;H;0;1;L;4;1;/;0;9;;;G;0;1;Q;6;0;/;0;0查看分类表>
申请人	中国科学技术大学	申请人地址	安徽省合肥市金寨路96号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学技术大学	当前权利人	中国科学技术大学
发明人	周海彪;陆轻铀
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明全压电并排推动的三摩擦力步进器，第一和第二压电体按伸缩方向平行设置并排地固定站立于第一基座上，构成第一驱动结构，特征是第三和第四压电体按伸缩方向平行设置并排地固定站立于第二基座上，构成第二驱动结构，第一和第二驱动结构的压电伸缩方向设置为一致，在此方向上第一和第二驱动结构相互配合滑动，在垂直于该滑动方向上设置将第一基座与第二基座相压的正压力以及将第一压电体自由端与第三压电体自由端相压的正压力和将第二压电体自由端与第四压电体自由端相压的正压力，在这三个正压力产生的最大静摩擦力中，任一个最大静摩擦力小于其它两个最大静摩擦力之和。优点是：推力大大增强，温漂大大减少。

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