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研磨组件和研磨仪

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202021717546.6
  • IPC分类号:B02C7/08;B02C7/12;B02C7/14;B02C7/11;G01N1/28
  • 申请日期:
    2020-08-17
  • 申请人:
    北京格瑞德曼仪器设备有限公司
著录项信息
专利名称研磨组件和研磨仪
申请号CN202021717546.6申请日期2020-08-17
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B02C7/08IPC分类号B;0;2;C;7;/;0;8;;;B;0;2;C;7;/;1;2;;;B;0;2;C;7;/;1;4;;;B;0;2;C;7;/;1;1;;;G;0;1;N;1;/;2;8查看分类表>
申请人北京格瑞德曼仪器设备有限公司申请人地址
北京市昌平区回龙观镇黄平路19号院(龙旗广场)2号楼513室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京格瑞德曼仪器设备有限公司当前权利人北京格瑞德曼仪器设备有限公司
发明人黄娟;贺先成;孟令阳
代理机构北京市东方至睿知识产权代理事务所(特殊普通合伙)代理人霍金虎
摘要
本申请提供一种研磨组件和研磨仪。该研磨组件包括支座、定研磨盘和动研磨盘,所述定研磨盘和所述动研磨盘相互配合;所述定研磨盘设在所述支座上,所述支座上设有升降机构,所述升降机构能调节所述动研磨盘进行升降移动,来调控所述动研磨盘与所述定研磨盘之间的间距。

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