多晶硅硅料的清洗方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200910025729.3
IPC分类号：C01B33/037;C23F1/24;C30B29/06
申请日期：
2009-03-09
申请人：
常州有则科技有限公司

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著录项信息

专利名称	多晶硅硅料的清洗方法
申请号	CN200910025729.3	申请日期	2009-03-09
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2009-09-16	公开/公告号	CN101531366
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B33/037 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B33/00 硅；其化合物（C01B 21/00，C01B 23/00优先；过硅酸盐入 C01B 15/14；碳化物入C01B32/956）〔1，3，2006.01〕 C01B33/02 硅（形成单晶或有一定结构的均匀多晶材料入C30B）〔5〕 C01B33/037 纯化（用区域熔融入C30B 13/00）〔5〕	IPC分类号	C;0;1;B;3;3;/;0;3;7;;;C;2;3;F;1;/;2;4;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	常州有则科技有限公司	申请人地址	江苏省常州市新北区乐山路18号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	常州有则科技有限公司	当前权利人	常州有则科技有限公司
发明人	吴伟忠;李云霞;范力
代理机构	常州市科谊专利代理事务所	代理人	孙彬

摘要

多晶硅硅料的清洗方法，将多晶硅硅料置于混合酸液中进行避光浸泡1分钟～10分钟，混合酸液温度为30℃～35℃，后捞取，用纯水冲洗，再经超声冲洗、压缩空气鼓泡后烘干；混合酸液为腐蚀液，配比为硝酸∶氢氟酸∶冰乙酸的溶液体积比为57∶18∶25；硝酸浓度为68％～72％，氢氟酸浓度为38％～41％，冰乙酸浓度为99.8％～99.9％；纯度等级为MOS级或UP级。将多晶硅硅料置于混合酸液中避光浸泡前，可以在氢氟酸液中进行避光预浸泡，也可以先在溶解光阻的溶剂中进行避光浸泡。用本方法清洗的多晶硅硅料，表面光洁，无酸渍、水渍，其优点为清洗效果好，清洗成本低，操作难度低，易于控制清洗质量，提高了清洗收率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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