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高速取放微小轻小物体的高速摆杆组件

发明专利无效专利

申请号：
CN201210345053.8
IPC分类号：H01L21/687;B65G47/91
申请日期：
2012-09-14
申请人：
天津必利优科技发展有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	高速取放微小轻小物体的高速摆杆组件
申请号	CN201210345053.8	申请日期	2012-09-14
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2012-12-19	公开/公告号	CN102832159A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/687 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/683 用于支承或夹紧的（用于定位、定向或对准的入H01L 21/68）〔8〕 H01L21/687 使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;8;7;;;B;6;5;G;4;7;/;9;1查看分类表>
申请人	天津必利优科技发展有限公司	申请人地址	天津市塘沽区新北路4668号创新创业园18栋变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	天津必利优科技发展有限公司	当前权利人	天津必利优科技发展有限公司
发明人	李建平;房桂磊
代理机构	天津市北洋有限责任专利代理事务所	代理人	王丽英

摘要

本发明公开了高速取放微小轻小物体的高速摆杆组件，它包括安装在高速摆杆上的吸嘴，所述的吸嘴通过安装有真空阀的真空回路连接管与真空泵相连，安装在马达安装板上的摆杆马达的马达转轴与高速摆杆垂直相连，所述的摆杆马达与升降驱动装置相连，升降驱动装置安装在组件安装架上。本组件可以应用到晶体设备中用于晶片的高速取放，实现了小晶片的良好定位。

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