一种计算多晶铁电材料畴区晶格取向和畴翻转角度的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201910358232.7
IPC分类号：G01R31/00;G06K9/00
申请日期：
2019-04-29
申请人：
南京大学

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专利名称	一种计算多晶铁电材料畴区晶格取向和畴翻转角度的方法
申请号	CN201910358232.7	申请日期	2019-04-29
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-11-26	公开/公告号	CN110501583A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R31/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R31/00 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置（在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L 21/66；线路传输系统的测试入H04B 3/46）	IPC分类号	G;0;1;R;3;1;/;0;0;;;G;0;6;K;9;/;0;0查看分类表>
申请人	南京大学	申请人地址	江苏省南京市汉口路22号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南京大学	当前权利人	南京大学
发明人	金亚鸣;肖疏雨;吕笑梅
代理机构	南京苏科专利代理有限责任公司	代理人	徐振兴

摘要

本发明公开了一种计算多晶铁电材料畴区晶格取向和畴翻转角度的方法，按照如下步骤进行：用原子力显微镜获得2D PFM表征图像；通过公式对铁电材料压电位移进行理论计算；根据2D PFM图像处理确定翻转角度。本发明的优势为：能够通过一次测量获得铁电样品的畴区的晶格取向以及极化前后的极化方向。能获得多晶样品的畴区的晶格取向以及极化前后的极化方向。一般的3D畴表征需要获得90°旋转样品前后的PFM信号，通过本文提供的方法可以省去旋转样品的步骤，为观察到畴区随时间变化的弛豫过程提供了可能性。

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