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运行至运行控制与故障检测的集成

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN02814257.8
  • IPC分类号:G05B19/418;H01L21/66
  • 申请日期:
    2002-07-12
  • 申请人:
    应用材料有限公司
著录项信息
专利名称运行至运行控制与故障检测的集成
申请号CN02814257.8申请日期2002-07-12
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2005-01-12公开/公告号CN1564970
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G05B19/418IPC分类号G;0;5;B;1;9;/;4;1;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人应用材料有限公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人应用材料有限公司当前权利人应用材料有限公司
发明人T·P·赖斯;A·P·尚穆加松拉姆;A·T·施瓦姆
代理机构北京纪凯知识产权代理有限公司代理人赵蓉民
摘要
结合使用运行至运行控制器和故障检测系统制造执行系统加工半导体晶片。由运行至运行控制器从制造执行系统接收菜单用于控制工具。该菜单包括用于获得一个或多个目标晶片特性的设定点。通过使用故障检测系统和一个或多个传感器测量加工属性来监视晶片的加工,其中加工属性包括故障状况和晶片特性。可以根据加工属性在运行至运行控制器修改菜单的设定点以保持目标晶片特性,除了由故障检测系统检测到故障状况的情况下之外。这样,在存在工具或晶片故障状况时获得的数据不能用于反馈目的。此外,可使用故障检测模型确定表示故障状况的条件范围。在这些情况下,可以修改故障检测模型,以便作为参数并入被运行至运行控制器修改的菜单的设定点。

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