一种真空包装机台

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201720931845.1
IPC分类号：B65B31/04;B65B51/06
申请日期：
2017-07-28
申请人：
上海华力微电子有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种真空包装机台
申请号	CN201720931845.1	申请日期	2017-07-28
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B65B31/04 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B6 交通运输 B65 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料 B65B 包装物件或物料的机械，装置或设备，或方法；启封（雪茄烟的捆扎和压紧装置入A24C1/44；适合于由物品或要包扎物件支承的包扎带的固定和拉紧装置入B25B25/00；将瓶子、罐或相似容器的封闭件入B67B1/00-B67B6/00；对瓶子同时进行清洗，灌注和封装入B67C7/00；瓶子，罐，罐头，木桶，桶或类似容器的排空入B67C9/00） B65B31/00 在特殊气氛或气体条件下包装物件或物料；将喷射剂加到气雾剂容器内 B65B31/04 用通过管嘴抽出或加注空气或其他气体，如惰性气体的方法，给已装料的容器或包裹件抽气、或压缩、或充气	IPC分类号	B;6;5;B;3;1;/;0;4;;;B;6;5;B;5;1;/;0;6查看分类表>
申请人	上海华力微电子有限公司	申请人地址	上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海华力微电子有限公司	当前权利人	上海华力微电子有限公司
发明人	谭孝林;姜舜;陈丽娟
代理机构	上海申新律师事务所	代理人	俞涤炯

摘要

本实用新型公开了一种真空包装机台，属于半导体制造技术领域，应用于晶圆盒包装，包括真空塑封装置和操作台，真空塑封装置位于操作台的一侧，于操作台的中部设置一圆形的通孔，真空包装机台还包括：摄像头，设置于真空塑封装置上，摄像头与一电脑连接；一可旋转地连接于伸缩单元上的转盘，可套嵌于通孔处，也可位于操作台的上方。上述技术方案的有益效果是：将真空包装机台的操作台的中部设置有可升降可旋转的转盘，扩展了操作台的工作空间和高度，满足晶圆包装的要求，使得整个晶圆包装过程都在真空包装机台上完成，避免了来回搬运，操作便利，降低了操作员的负担，提高产能。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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