基板加工装置

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专利名称	基板加工装置
申请号	CN201510173280.0	申请日期	2015-04-13
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-01-06	公开/公告号	CN105216126A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	三星钻石工业股份有限公司	申请人地址	日本大阪府摄津市香露园32番12号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	三星钻石工业股份有限公司	当前权利人	三星钻石工业股份有限公司
发明人	得永直
代理机构	北京中原华和知识产权代理有限责任公司	代理人	寿宁;张华辉

摘要

本发明是关于一种基板加工装置，能够进行高效率的基板加工。该基板加工装置，具备有：搬送基板的搬送带(2)、配置在与搬送带(2)的搬送方向交叉的方向的侧方且对基板进行加工的裂断装置(3)、以及相互排列配置且在搬送带(2)与裂断装置(3)之间同步搬送基板的下搬送机构(4)及上搬送机构(5)。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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