常温下微波等离子体和激光联合处理材料表面的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN03141802.3
IPC分类号：--
申请日期：
2003-07-24
申请人：
复旦大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	常温下微波等离子体和激光联合处理材料表面的方法
申请号	CN03141802.3	申请日期	2003-07-24
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2004-02-11	公开/公告号	CN1473952
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	复旦大学	申请人地址	上海市邯郸路220号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	复旦大学	当前权利人	复旦大学
发明人	吴嘉达;孙剑;凌浩
代理机构	上海正旦专利代理有限公司	代理人	姚静芳;王福新

摘要

本发明是一种常温下用微波等离子体和激光束联合对材料表面实施改性处理的方法。现有技术尚未见该类报道。本项发明的方法是：对特定的工作气体进行电子回旋共振微波放电产生微波等离子体，将等离子体引入材料处理室，同时将激光束引入材料处理室，微波等离子体和激光束同时作用于材料表面进行等离子体和激光联合处理，使表层材料的成分、组织或结构发生变化，达到改变或改善材料表面性能的目的。本发明适用范围广，参数调整方便，等离子体和激光束的种类和参数可以单独调整，还可以对材料表面的特定区域进行微区处理。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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