分析装置、分析方法和分析程序

发明专利有效专利

申请号：
CN202110240073.8
IPC分类号：G01N21/73;G06F17/18;G06N20/00;G06N5/04
申请日期：
2021-03-04
申请人：
东京毅力科创株式会社

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引证文献

著录项信息

专利名称	分析装置、分析方法和分析程序
申请号	CN202110240073.8	申请日期	2021-03-04
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-09-14	公开/公告号	CN113390856A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/73 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/62 所测试的材料在其中被激发，因之引起材料发光或入射光的波长发生变化的系统〔3〕 G01N21/71 热激发的〔3〕 G01N21/73 用等离子体喷嘴或吹管〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;7;3;;;G;0;6;F;1;7;/;1;8;;;G;0;6;N;2;0;/;0;0;;;G;0;6;N;5;/;0;4查看分类表>
申请人	东京毅力科创株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东京毅力科创株式会社	当前权利人	东京毅力科创株式会社
发明人	田中康基;永井龙
代理机构	北京尚诚知识产权代理有限公司	代理人	龙淳;刘芃茜

摘要

本发明提供基于时序数据组，对制造工艺的处理空间的环境定量地进行评价的分析装置、分析方法和分析程序。分析装置包括：学习部，其使用伴随处理空间中的对对象物的处理而测量的时序数据组进行机器学习，计算表示各测量项目间的、对应的时间范围的时序数据的关联性的值；和评价部，其使用伴随处理空间的在已知环境下对对象物的处理而测量的时序数据组，基于通过由上述学习部进行机器学习而计算出的表示上述关联性的值，对处理空间的未知环境进行评价。

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