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一种双环电极共面放电等离子体发生装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201711180889.6
  • IPC分类号:H05H1/24
  • 申请日期:
    2017-11-23
  • 申请人:
    核工业西南物理研究院;成都理工大学工程技术学院
著录项信息
专利名称一种双环电极共面放电等离子体发生装置
申请号CN201711180889.6申请日期2017-11-23
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-05-31公开/公告号CN109831866A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H05H1/24IPC分类号H;0;5;H;1;/;2;4查看分类表>
申请人核工业西南物理研究院;成都理工大学工程技术学院申请人地址
四川省成都市双流西南航空港黄荆路5号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人核工业西南物理研究院,成都理工大学工程技术学院当前权利人核工业西南物理研究院,成都理工大学工程技术学院
发明人李建;童洪辉;王坤;但敏;金凡亚
代理机构核工业专利中心代理人高安娜
摘要
本发明属于低温等离子体技术领域,具体涉及一种双环电极共面放电等离子体发生装置。本装置由电源和埋藏在介质层内的双环形电极单元紧密排列而成;所述双环形电极单元包括内环电极和外环电极,内环电极和外环电极均埋藏在介质层内一定深度,内环电极接地,外环电极连接高压电源的高频、高电压电极,多个双环形电极单元组合后可以产生大面积均匀等离子体,在所述的内环电极和外环电极之间的介质层表面,在高电压作用下产生共面放电等离子体,等离子体分布均匀。

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