一种基于双自由度气浮导轨与气浮轴承的免解耦微空间力精确测量装置及测量方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202210840947.8
IPC分类号：G01L5/16
申请日期：
2022-07-18
申请人：
西北工业大学

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著录项信息

专利名称	一种基于双自由度气浮导轨与气浮轴承的免解耦微空间力精确测量装置及测量方法
申请号	CN202210840947.8	申请日期	2022-07-18
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2022-11-25	公开/公告号	CN115389081A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L5/16 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01L 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）〔4〕 G01L5/00 适用于特殊目的的，用来测量诸如由冲击产生的力、功、机械功率或转矩的装置或方法 G01L5/16 用于测量力的分量的	IPC分类号	G;0;1;L;5;/;1;6查看分类表>
申请人	西北工业大学	申请人地址	陕西省西安市友谊西路变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西北工业大学	当前权利人	西北工业大学
发明人	苑伟政;周文源;张康;何洋;吕湘连
代理机构	西安凯多思知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	范倩

摘要

本发明属于力值测量领域，具体是一种基于双自由度气浮导轨与气浮轴承的免解耦微空间力精确测量装置和测量方法。该装置使用双自由度气浮导轨与气浮轴承测量微空间力，所述气浮导轨由导轨和滑块组成，气浮轴承由中心的转子和外圈的定子组成。气浮导轨通过管用快速接头向导轨与滑块接触的四个面之间的缝隙注入高压气体，可以使缝隙中形成承载能力极强的均匀气膜，气体润滑下导轨与滑块可以认为是无接触的装配，气浮轴承同理。故气浮的测力方法可以使内阻将至极低，近似为零，其提供的测量环境非常有利于实现力的高分辨力测量。测量过程中，气浮导轨中的气膜和气浮轴承中的气膜均可以一定程度上隔离振动，有利于提高测量装置的精度。

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