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具有光瞳遮蔽的物镜

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN02812100.7
  • IPC分类号:G02B17/08;G02B17/06
  • 申请日期:
    2002-08-16
  • 申请人:
    卡尔蔡司SMT股份公司
著录项信息
专利名称具有光瞳遮蔽的物镜
申请号CN02812100.7申请日期2002-08-16
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2004-07-28公开/公告号CN1516819
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B17/08IPC分类号G;0;2;B;1;7;/;0;8;;;G;0;2;B;1;7;/;0;6查看分类表>
申请人卡尔蔡司SMT股份公司申请人地址
德国上科亨 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人卡尔蔡司SMT股份公司当前权利人卡尔蔡司SMT股份公司
发明人H·-J·曼;W·乌尔里希
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人王岳;张志醒
摘要
物镜(1)具有:第一部分物镜(3),其将第一场平面(7)投影到中间图像(11)上且包括具有第一中央镜孔径(15)的第一凸面镜(13)和具有第二中央镜孔径(19)的第二凹面镜(17),所述第一镜(13)具有距所述第二镜(17)的第一轴上间距,且所述第二镜(17)具有距所述中间图像(11)的第二轴上间距,以及第一轴上间距与第二轴上间距的比率具有在0.95至1.05、尤其是在0.98至1.02之间的值;以及第二部分物镜(5),其将所述中间图像(11)投影到第二场平面(9)上且包括具有第三中央镜孔径(23)的第三凹面镜(21)和具有第四中央镜孔径(27)的第四凹面镜(25),所述第三镜(21)具有距第二场平面(9)的第三轴上间距ZM3-IM,所述第三轴上间距与第二场平面(9)内的数值孔径NA以及与第三镜(21)的直径DuM3具有下述关系:(I),所述物镜(1)具有Petzval半径,所述半径的绝对值大于所述第一场平面(7)距所述第二场平面(9)的轴上间距。

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