激光剥蚀样品室

发明专利有效专利

申请号：
CN201610556645.2
IPC分类号：G01N1/44;H01J49/04
申请日期：
2016-07-15
申请人：
中国工程物理研究院材料研究所

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	激光剥蚀样品室
申请号	CN201610556645.2	申请日期	2016-07-15
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-09-21	公开/公告号	CN105954088A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N1/44 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N1/00 取样；制备测试用的样品（用于自动分析的材料处理入G01N 35/00） G01N1/28 测试用样品的制备（将样品安装在显微镜载片上入G02B 21/34；电子显微镜中支承被分析的物品或材料的装置入H01J 37/20） G01N1/44 包括辐照的样品处理，例如，加热〔6〕	IPC分类号	G;0;1;N;1;/;4;4;;;H;0;1;J;4;9;/;0;4查看分类表>
申请人	中国工程物理研究院材料研究所	申请人地址	四川省绵阳市江油市华丰新村9号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国工程物理研究院材料研究所	当前权利人	中国工程物理研究院材料研究所
发明人	文明;何康昊;宋江锋;姚勇;李佩龙;邓立;杨雷
代理机构	北京超凡志成知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	孟宪功

摘要

本发明公开了一种激光剥蚀样品室，包括内腔室、外腔室和送样装置；内腔室具备第一进气口和第一出气口，内腔室上开设有进样口和出样口；送样装置包括通过进样口和出样口可滑动地贯穿内腔室的样品托条，以及与样品托条连接并用于带动样品托条在进样口和出样口所处直线上滑动的驱动装置；内腔室和送样装置均设置在外腔室内，外腔室具备第二进气口和第二出气口。该激光剥蚀样品室，实现了样品的自动更换，无需频繁开启样品室，从而避免了因频繁开启样品室对激光剥蚀进样系统中的气路造成影响。同时，消除了内腔室内外的压力差，避免了由于内腔室内外压力差导致的样品颗粒云泄漏。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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