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移动手臂、化学机械研磨修整器和研磨设备

发明专利无效专利

申请号：
CN201811432480.3
IPC分类号：B24B37/00;B24B37/34;B24B57/00
申请日期：
2018-11-28
申请人：
长江存储科技有限责任公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	移动手臂、化学机械研磨修整器和研磨设备
申请号	CN201811432480.3	申请日期	2018-11-28
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2019-02-15	公开/公告号	CN109333335A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B37/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B37/00 研磨机床或装置；附件（B24B 3/00优先）	IPC分类号	B;2;4;B;3;7;/;0;0;;;B;2;4;B;3;7;/;3;4;;;B;2;4;B;5;7;/;0;0查看分类表>
申请人	长江存储科技有限责任公司	申请人地址	湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	长江存储科技有限责任公司	当前权利人	长江存储科技有限责任公司
发明人	高林
代理机构	上海盈盛知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	董琳

摘要

一种移动手臂、化学机械研磨修整器和研磨设备，其中所述移动手臂，包括包覆手臂主体的外壳以及位于外壳表面的液体收纳装置，所述液体收纳装置用于收纳积累在外壳上的液滴，并将收纳的液滴排到下排管中。本发明的移动手臂，能防止手臂上的液滴滴落到下方的研磨垫上。

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