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曝光机台电子枪加热系统

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201921338761.2
IPC分类号：H01J37/317;H01J37/18;G03F7/20
申请日期：
2019-08-19
申请人：
无锡迪思微电子有限公司

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	曝光机台电子枪加热系统
申请号	CN201921338761.2	申请日期	2019-08-19
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/317 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/30 物体局部处理用的电子束管或离子束管 H01J37/317 用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入（H01J 37/36优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;1;7;;;H;0;1;J;3;7;/;1;8;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人	无锡迪思微电子有限公司	申请人地址	江苏省无锡市太湖国际科技园菱湖大道180号-6 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	无锡迪思微电子有限公司	当前权利人	无锡迪思微电子有限公司
发明人	周凯
代理机构	无锡市朗高知识产权代理有限公司	代理人	赵华;贾传美

摘要

本实用新型提供曝光机台电子枪加热系统，包括：离子泵、分子泵、加热带，分子泵一端通过管道接真空室、另一端接机械泵，离子泵通过管道接入真空室，加热带缠绕在离子泵外部，高温情况下，气体分子运动加速，气体分子与活性膜的反应也会加快，提高了分子泵抽取离子泵内气体的速度，操作方便、结构简单。

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