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六自由度精密定位工作台

实用新型专利null
  • 申请号:
    CN200520040058.5
  • IPC分类号:B25H1/02;G12B5/00
  • 申请日期:
    2005-03-10
  • 申请人:
    中国科学院上海光学精密机械研究所
著录项信息
专利名称六自由度精密定位工作台
申请号CN200520040058.5申请日期2005-03-10
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B25H1/02IPC分类号B;2;5;H;1;/;0;2;;;G;1;2;B;5;/;0;0查看分类表>
申请人中国科学院上海光学精密机械研究所申请人地址
上海市800-211邮政信箱 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院上海光学精密机械研究所当前权利人中国科学院上海光学精密机械研究所
发明人王勇;刘志刚;薄锋;朱健强
代理机构上海新天专利代理有限公司代理人张泽纯
摘要
一种六自由度精密定位工作台,它由上下两层平台连接而成,其中下层平台由两组双平行板式柔性铰链作为导向机构,采用三组驱动单元实现两个方向的平动和一个方向的转动。上层平台与下层平台的运动平台部分连接,采用三组等边三角形布置的驱动单元和球面副柔性铰链实现一个方向的平动和两个方向的转动。驱动单元采用压电陶瓷致动器,使位移输出分辨率和定位精度高,频率响应快,无机械摩擦,且机构定位可以实现补偿。本实用新型可实现纳米级的定位精度。

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