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长玻璃柱体阳极键合的加热加压装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201110205060.3
  • IPC分类号:H01L21/60;B81C1/00
  • 申请日期:
    2011-07-21
  • 申请人:
    苏州大学
著录项信息
专利名称长玻璃柱体阳极键合的加热加压装置
申请号CN201110205060.3申请日期2011-07-21
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2011-12-28公开/公告号CN102295268A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/60IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;0;;;B;8;1;C;1;/;0;0查看分类表>
申请人苏州大学申请人地址
江苏省苏州市吴中区丽丰商业中心2幢B座1706室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏州市信睦知识产权服务有限公司当前权利人苏州市信睦知识产权服务有限公司
发明人陈涛;陈立国;潘明强;王振华;孙荣川;严琴
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人常亮;李辰
摘要
本发明公开了一种长玻璃柱体阳极键合的加热加电装置,其包括自适应压头、加热台、集成于加热台内的加热管、设于加热台上的加热块、安装于加热块上的陶瓷块、底座以及安装于底座上的气缸,所述自适应压头包括连杆、与连杆连接的绝缘块、压头座、安装在压头座内的压头、安装在压头座上的玻璃柱加电簧片、安装在绝缘块上的硅片加电簧片,所述自适应压头通过连杆与气缸连接,所述玻璃柱加电簧片包括两个,该两个玻璃柱加电簧片分别夹紧于玻璃柱的两侧。本发明采用从玻璃柱的两侧夹紧进行加电的方式,不但可以保证加电效果,大大提高键合效率,而且在玻璃柱很长的情况下,可以缩短键合时间,便于调整加电高度。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供