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发光体,及使用其的电子射线检测器、扫描型电子显微镜和质量分析装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200580012145.2
  • IPC分类号:C09K11/62;G01N23/225
  • 申请日期:
    2005-04-07
  • 申请人:
    浜松光子学株式会社
著录项信息
专利名称发光体,及使用其的电子射线检测器、扫描型电子显微镜和质量分析装置
申请号CN200580012145.2申请日期2005-04-07
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2007-04-11公开/公告号CN1946827
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C09K11/62IPC分类号C;0;9;K;1;1;/;6;2;;;G;0;1;N;2;3;/;2;2;5查看分类表>
申请人浜松光子学株式会社申请人地址
日本静冈县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人浜松光子学株式会社当前权利人浜松光子学株式会社
发明人内山昌一;高木康文;新垣实;近藤稔;水野到
代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司代理人龙淳
摘要
本发明提供一种应答速度快并且发光强度高的发光体,使用该发光体的电子射线检测器,扫描型电子显微镜以及质量分析装置。在本发明的发光体(10)中,形成在基板(12)的一个面(12a)上的氮化物半导体层(14)因电子入射发出荧光,至少该荧光的一部分透过基板(12),从基板的另一个面(12b)射出荧光。该荧光的应答速度在μsec量级以下。另外,该荧光的发光强度,具有与已有的P47荧光体相同程度的强度。即,该发光体(10),具有适应扫描型电子显微镜和质量分析装置的充分的应答速度以及发光强度。而且,由于覆盖层(16)有利于提高氮化物半导体层(14)中的发光残存率,所以,该发光体(10)不仅实现高速应答以及高发光强度,还具有优异的残存率。

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