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长寿命的环件结构

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201611106170.3
  • IPC分类号:C23C14/34
  • 申请日期:
    2016-12-05
  • 申请人:
    宁波江丰电子材料股份有限公司
著录项信息
专利名称长寿命的环件结构
申请号CN201611106170.3申请日期2016-12-05
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-06-12公开/公告号CN108149204A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/34IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人宁波江丰电子材料股份有限公司申请人地址
浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人宁波江丰电子材料股份有限公司当前权利人宁波江丰电子材料股份有限公司
发明人姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;刘霞
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人高静;吴敏
摘要
本发明提供一种长寿命的环件结构,安装于溅射设备内且环绕溅射靶材,包括:环件本体,包括朝向溅射靶材的内壁以及与内壁相对的外壁;固定于外壁上的安装配件,用于将环件本体安装于溅射设备内,安装配件包括连接部,连接部用于固定于溅射设备内。本发明环件结构包括固定于环件本体外壁上的安装配件,安装配件包括连接部,用于固定于溅射设备内,从而将环件本体安装于溅射设备内;相比通过贯穿环件本体的连接部以实现固定作用的安装配件,本发明安装配件不仅可以起到固定作用,而且由于连接部未凸出于环件本体内壁,因此连接部未暴露于溅射环境中,即不参与溅射工艺,从而可以避免溅射工艺过程中所述连接部的损耗,进而延长环件结构的使用寿命。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供