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一种细晶粒平面钼靶材的生产方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510902253.2
  • IPC分类号:C23C14/34
  • 申请日期:
    2015-12-09
  • 申请人:
    西安瑞福莱钨钼有限公司
著录项信息
专利名称一种细晶粒平面钼靶材的生产方法
申请号CN201510902253.2申请日期2015-12-09
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-04-13公开/公告号CN105483626A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/34IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人西安瑞福莱钨钼有限公司申请人地址
陕西省西安市经济技术开发区泾渭工业园西金路西段15号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人西安瑞福莱钨钼有限公司当前权利人西安瑞福莱钨钼有限公司
发明人淡新国;郭磊;张腾;张清;李长亮;任吉文;邓自南;赵娟
代理机构西安创知专利事务所代理人冯亮
摘要
本发明公开了一种细晶粒平面钼靶材的生产方法,该方法为:一、采用粉末冶金烧结制备钼板坯;二、对钼板坯进行8道次以上轧制,得到钼板材,每道次轧制的加热温度为850℃~1000℃;三、对钼板材进行热处理,随炉冷却后得到晶粒尺寸不大于100μm,平均晶粒尺寸为40μm~80μm的细晶粒钼靶材。本发明的方法简单高效,设备来源广泛,对环境无污染,性能可靠,可批量化生产,生产的产品性能稳定可靠,节能高效,可满足各种规格和单重板材的生产。采用本发明的方法生产的平面钼靶材晶粒组织均匀、细小,平均晶粒尺寸为40μm~80μm,最大晶粒尺寸不大于100μm。

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