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保护膜形成膜、保护膜形成用复合片、及带保护膜形成膜的工件的运送方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110312454.2
  • IPC分类号:C08J5/18;C08L33/08;C08L63/00;C08K3/36;C08K3/22;C08K3/04;H01L21/683
  • 申请日期:
    2021-03-24
  • 申请人:
    琳得科株式会社
著录项信息
专利名称保护膜形成膜、保护膜形成用复合片、及带保护膜形成膜的工件的运送方法
申请号CN202110312454.2申请日期2021-03-24
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2021-09-28公开/公告号CN113444271A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C08J5/18IPC分类号C;0;8;J;5;/;1;8;;;C;0;8;L;3;3;/;0;8;;;C;0;8;L;6;3;/;0;0;;;C;0;8;K;3;/;3;6;;;C;0;8;K;3;/;2;2;;;C;0;8;K;3;/;0;4;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分类表>
申请人琳得科株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人琳得科株式会社当前权利人琳得科株式会社
发明人小桥力也
代理机构北京路浩知识产权代理有限公司代理人张晶;谢顺星
摘要
通过将多片本实施方式的保护膜形成膜层叠,制作宽度4mm、厚度200±20μm的试验片,并保持所述试验片,以频率11Hz的拉伸模式、升温速度3℃/分钟的测定条件,测定所述试验片的储能模量,将所述试验片的温度为70℃时的储能模量设为E’70、将所述保护膜形成膜的波长380~780nm的光的反射率的最大值设为Rmax时,根据式:Y=(log10E’70)2×Rmax算出的Y值为260以上,根据式:X=(log10E’70)2算出的X值为33以上。

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