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一种简易型手动式气动元件控制装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201520362576.2
  • IPC分类号:F15B13/02
  • 申请日期:
    2015-05-29
  • 申请人:
    沈阳拓荆科技有限公司
著录项信息
专利名称一种简易型手动式气动元件控制装置
申请号CN201520362576.2申请日期2015-05-29
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号F15B13/02IPC分类号F;1;5;B;1;3;/;0;2查看分类表>
申请人沈阳拓荆科技有限公司申请人地址
辽宁省沈阳市浑南区水家900号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人拓荆科技股份有限公司当前权利人拓荆科技股份有限公司
发明人陈英男;姜崴;郑旭东;关帅;芦佳
代理机构沈阳维特专利商标事务所(普通合伙)代理人甄玉荃
摘要
简易型手动式气动元件控制装置,主要解决现有的半导体薄膜沉积设备控制气动元件需要进行检测时,由于气动元件在长距离、多路数控制时,所造成的管路过多、混乱、安全性差等问题。该控制装置采用在一个气体分配阀岛或气体分配阀体上安装多组阀的结构形式。上述气体分配阀岛上设计有压缩空气进口及气体分配通道;上述气体分配阀岛或气体分配阀体可以通过机械加工、铸造、注塑等方式制成。在设备装配及维护过程中需长距离控制气动元件进行检测操作时,只须将一路气源引入上述气体分配阀岛或气体分配阀体的进气口,通过气体分配阀岛或气体分配阀体上安装的手动阀上的出气口或出气孔,分别连接需控制的气动元件,实现对气动元件的分别控制功能。

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