用于评估与处理过程关联的状态的方法与系统

发明专利无效专利

申请号：
CN200780016375.5
IPC分类号：G05B19/418;H01L21/66;G05B13/04
申请日期：
2007-02-20
申请人：
先进微装置公司

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著录项信息

专利名称	用于评估与处理过程关联的状态的方法与系统
申请号	CN200780016375.5	申请日期	2007-02-20
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2009-05-20	公开/公告号	CN101438217
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G05B19/418 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G05 控制；调节 G05B 一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置（应用流体作用的一般流体压力执行器或系统入F15B；阀门本身入F16K；仅按机械特征区分的入G05G；传感元件见相应小类，例如G12B，G01、H01的小类；校正单元见相应的小类，例如H02K） G05B19/00 程序控制系统（特殊应用见有关位置，例如A47L 15/46；附带或内装有在预定时间间隔操作任一器件的装置的时钟入G04C 23/00；记录或读取数字信息的记录载体入G06K；信息存储器入G11；在程序执行完了后自动终止其运行的时间或时间程序开关入H01H 43/00） G05B19/02 电的 G05B19/418 全面工厂控制，即集中控制许多机器，例如直接或分布数字控制（DNC）、柔性制造系统（FMS）、集成制造系统（IMS）、计算机集成制造（CIM）〔6〕	IPC分类号	G;0;5;B;1;9;/;4;1;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6;;;G;0;5;B;1;3;/;0;4查看分类表>
申请人	先进微装置公司	申请人地址	英属开曼群岛大开曼岛变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	格罗方德半导体公司	当前权利人	格罗方德半导体公司
发明人	R·P·古德;K·A·沙尼斯;U·舒尔策
代理机构	北京戈程知识产权代理有限公司	代理人	程伟;王锦阳

摘要

一种用于评估关联于处理过程的状态的方法，包含接收关联于该处理过程的状态观察。该状态观察具有关联之处理过程时间。根据该处理过程时间产生酌减(discount)该状态观察的加权因子。根据该酌减的状态观察产生状态评估。一种系统，包含处理过程工具、量测工具、和处理过程控制器。该处理过程工具可操作以根据操作方案执行处理过程。该量测工具可操作以产生关联于该处理过程的状态观察。该处理过程控制器可操作以接收具有关联之处理过程时间的状态观察，根据该处理过程时间产生用以酌减该状态观察的加权因子，根据该酌减的状态观察产生状态评估，以及根据该状态评估决定该操作方案之至少一个参数。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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