非制冷红外偏振探测器像元结构及制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201810996239.7
IPC分类号：G01J4/00
申请日期：
2018-08-29
申请人：
北方广微科技有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	非制冷红外偏振探测器像元结构及制备方法
申请号	CN201810996239.7	申请日期	2018-08-29
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-01-22	公开/公告号	CN109253803A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01J4/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01J 红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分，偏振、相位或脉冲特性的测量；比色法；辐射高温测定法〔2〕 G01J4/00 测量光的偏振〔2〕	IPC分类号	G;0;1;J;4;/;0;0查看分类表>
申请人	北方广微科技有限公司	申请人地址	北京市大兴区经济技术开发区荣京东街3号1幢12层1单元1011 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北方广微科技有限公司	当前权利人	北方广微科技有限公司
发明人	张连东;李煜;赵永强;潘泉
代理机构	北京展翅星辰知识产权代理有限公司	代理人	暂无

摘要

本申请提供一种非制冷红外偏振探测器像元结构及制备方法，其中非制冷红外偏振探测器像元结构包括底层，所述底层包括读出电路基座以及设在所述读出电路基座上的第一金属电极层、金属反射层和第一介质保护层；中间层，所述中间层包括第一支撑层、热敏层、第二介质保护层、第二金属电极层和第三介质保护层；上层，所述上层包括设在所述第三介质保护层之上的第二支撑层以及设在所述第二支撑层上的光栅层，所述光栅层包括若干个依次排列的光栅。本申请提供的非制冷红外偏振探测器像元结构及制备方法，且体积大幅度减小，降低了光栅层引入的热噪声，提高了偏振探测灵敏度，有利于增大光栅层的消光比。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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