吸头清洁方法及使用该方法的粘片机

发明专利有效专利

申请号：
CN201310412622.0
IPC分类号：H01L21/02;H01L21/52
申请日期：
2013-09-11
申请人：
株式会社日立高新技术仪器

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著录项信息

专利名称	吸头清洁方法及使用该方法的粘片机
申请号	CN201310412622.0	申请日期	2013-09-11
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-09-17	公开/公告号	CN104051230A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/02 半导体器件或其部件的制造或处理〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;2;;;H;0;1;L;2;1;/;5;2查看分类表>
申请人	株式会社日立高新技术仪器	申请人地址	日本山梨县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	捷进科技有限公司	当前权利人	捷进科技有限公司
发明人	石井良英;牧浩
代理机构	北京银龙知识产权代理有限公司	代理人	张敬强;严星铁

摘要

本发明提供不用进行增加新的单元，能够进行吸头的清洁，不会使异物飞散，也能够将粘着力强的异物切实地除去的吸头清洁方法及使用了该方法的粘片机。所述粘片机具备拾取装置、具有在上述拾取装置顶起的时刻从上述晶圆片吸附上述晶粒的吸头的粘接头部、以及控制上述拾取装置及上述粘接头部的控制部，通过使上述吸头移动到保持在上述晶圆环上的上述晶圆片的上述切割保护带的没有上述晶粒的位置而与上述切割保护带的粘结面接触，从而将附着在上述吸头顶端部的异物除去。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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