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惯性温度控制系统和方法

发明专利无效专利

申请号：
CN02108085.2
IPC分类号：--
申请日期：
2002-02-06
申请人：
ASML美国公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	惯性温度控制系统和方法
申请号	CN02108085.2	申请日期	2002-02-06
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2002-10-02	公开/公告号	CN1372175
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	ASML美国公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	ASML美国公司	当前权利人	ASML美国公司
发明人	艾伦·L.·斯塔纳
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	付建军

摘要

本发明提供了一种惯性温度控制系统和方法,用于使坯体温度在两个温度之间变化,从而平滑地到达结束温度,而基本上没有温度过调节或振荡。将设置点温度输入给温度控制算法,该设置点温度以物理上可达到的速率加速或减速。

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