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一种用于生产过程加热需要的冷热测针

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201120448808.8
  • IPC分类号:H01L21/66
  • 申请日期:
    2011-11-14
  • 申请人:
    百力达太阳能股份有限公司
著录项信息
专利名称一种用于生产过程加热需要的冷热测针
申请号CN201120448808.8申请日期2011-11-14
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/66IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人百力达太阳能股份有限公司申请人地址
浙江省嘉兴市桐乡市河山镇工业园 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人百力达太阳能股份有限公司当前权利人百力达太阳能股份有限公司
发明人史根林
代理机构上海申汇专利代理有限公司代理人翁若莹;柏子雵
摘要
本实用新型提供了一种用于生产过程加热需要的冷热测针,包括机体,其特征在于:在机体的操作面上设有手动推拉的平移滑板,平移滑板底部设有平移机构,在平移滑板上设有可360度旋转的旋转板,在平移滑板的前端设有手动平移推拉杆,在手动平移推拉杆上设有弹簧,至少两个测量笔设于平移滑板的后方,测量笔通过四氟材料架架空,在至少两个测量笔中的一个测量笔的笔头下设有加热线圈,在机体的操作面设有放置万用表的平面,万用表的表笔接在测量笔上,在加热线圈及四氟管的下方设有气管接口,气管接口管路连接设于机体表面的压缩空气进气接口。本实用新型的优点是:提供了一种用于生产过程中的冷热测针,通过该装置能够更为精确得为硅片进行加热。

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