一种光刻胶产酸树脂单体及其合成方法和应用

发明专利有效专利

申请号：
CN202110688917.5
IPC分类号：C07C323/19;C07C319/20;G03F7/004
申请日期：
2021-06-22
申请人：
徐州博康信息化学品有限公司

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专利名称	一种光刻胶产酸树脂单体及其合成方法和应用
申请号	CN202110688917.5	申请日期	2021-06-22
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-09-24	公开/公告号	CN113429324A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C07C323/19 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C07 有机化学〔2〕 C07C 无环或碳环化合物（高分子化合物入C08；有机化合物的电解或电泳生产入C25B 3/00，C25B 7/00） C07C323/00 被卤素、氧或氮原子或非硫代基硫原子取代的硫醇、硫醚、氢化多硫化物或多硫化物〔5〕 C07C323/10 硫代基和单键氧原子连接在同一碳架上〔5〕 C07C323/18 有至少1个硫代基的硫原子连接在碳架的六元芳环的碳原子上〔5〕 C07C323/19 单键氧原子连接在碳架的非环碳原子上〔5〕	IPC分类号	C;0;7;C;3;2;3;/;1;9;;;C;0;7;C;3;1;9;/;2;0;;;G;0;3;F;7;/;0;0;4查看分类表>
申请人	徐州博康信息化学品有限公司	申请人地址	江苏省徐州市邳州市经济开发区化工聚集区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	徐州博康信息化学品有限公司	当前权利人	徐州博康信息化学品有限公司
发明人	傅志伟;潘新刚;邵严亮;余文卿;陆伟
代理机构	合肥鸿知运知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	王金良

摘要

本发明涉及光刻胶技术领域，且公开了一种光刻胶产酸树脂单体及其合成方法和应用。所述树脂单体的结构为：其中，R1为H或者甲基，R2为C1‑C12的烷烃，L1、L2为二价连接键，A1、A2、A3、A4各自独立的为F、H或者CF3，且A1、A2、A3、A4中至少有一个为F或者CF3。本发明特定结构的树脂单体，光致产酸的锍盐基团与不饱和丙烯酸酯连接，聚合后结合在树脂上，可有效防止酸的扩散，并且其阴阳离子在同一个结构中，进一步抑制了酸的扩散，能够有效的降低线边缘粗糙度，提高分辨率。

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