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对半导体器件进行并行测试的装置和方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200310101774.5
IPC分类号：H01L21/66;G01R31/28
申请日期：
2003-10-23
申请人：
国际商业机器公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	对半导体器件进行并行测试的装置和方法
申请号	CN200310101774.5	申请日期	2003-10-23
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2004-05-26	公开/公告号	CN1499599
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/66 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/66 在制造或处理过程中的测试或测量〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;6;;;G;0;1;R;3;1;/;2;8查看分类表>
申请人	国际商业机器公司	申请人地址	美国纽约变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	国际商业机器公司	当前权利人	国际商业机器公司
发明人	W·R·科尔宾;B·R·凯斯勒;E·A·纳尔逊;T·E·奥布雷姆斯基;D·L·威特尔
代理机构	北京市中咨律师事务所	代理人	于静;李峥

摘要

一种通过使用逻辑扫描链测试程序与存储器自检(BIST)并行地执行逻辑和内置存储器测试的技术。它是使用在存储器和逻辑分段之间的电压隔离以及在逻辑和存储器测试时钟之间的隔离的组合来完成的。引进了一种测试算法以在BIST操作期间启动或禁止扫描电路操作。

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