一种电容式全解耦水平轴微机械陀螺

发明专利无效专利

申请号：
CN200610114485.2
IPC分类号：G01C19/56;G01P9/04
申请日期：
2006-11-10
申请人：
北京大学

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专利名称	一种电容式全解耦水平轴微机械陀螺
申请号	CN200610114485.2	申请日期	2006-11-10
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2007-04-18	公开/公告号	CN1948906
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01C19/56 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01C 测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学（液体水平面的测量入G01F；无线电导航，通过利用无线电波的传播效应，例如多普勒效应，传播时间来测定距离或速度，利用其他波的类似装置入G01S） G01C19/00 陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率〔1，2013.01〕 G01C19/56 使用振动部件的转动敏感装置，例如基于科里奥利力的振动角速度传感器〔1，2012.01〕	IPC分类号	G;0;1;C;1;9;/;5;6;;;G;0;1;P;9;/;0;4查看分类表>
申请人	北京大学	申请人地址	北京市海淀区颐和园路5号北京大学微电子学研究院变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京大学	当前权利人	北京大学
发明人	刘雪松;刘晔;丁海涛;杨振川;闫桂珍
代理机构	北京纪凯知识产权代理有限公司	代理人	徐宁;关畅

摘要

本发明涉及一种电容式全解耦水平轴微机械陀螺，其特征在于：它包括玻璃衬底，驱动电容、驱动反馈电容、检测电容、驱动质量块、不对称质量块和检测质量块；驱动质量块位于中央，驱动质量块的两端分别通过横向设置的驱动模态弹性梁连接固定在玻璃衬底上的锚点；驱动电容和驱动反馈电容的可动电极连接在驱动质量块上，驱动电容和驱动反馈电容的固定电极固定在玻璃衬底上；不对称质量块外侧的两端分别通过横向设置的驱动模态弹性梁连接检测质量块，不对称质量块内侧的两端分别通过竖向设置的检测模态弹性梁连接驱动质量块；检测电容的可动电极固定在检测质量块的两侧，检测电容的固定电极固定在玻璃衬底上；检测质量块的两端分别通过竖向设置的检测模态弹性梁连接固定在玻璃衬底上的锚点。本发明具备双解耦结构，能够很好的抑制寄生效应，降低漂移；且具有良好的线性度和偏轴灵敏度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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