加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

负性光致抗蚀剂组合物

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200780011420.8
  • IPC分类号:G03F7/027;G03F7/033
  • 申请日期:
    2007-03-28
  • 申请人:
    AZ电子材料美国公司
著录项信息
专利名称负性光致抗蚀剂组合物
申请号CN200780011420.8申请日期2007-03-28
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2009-04-15公开/公告号CN101410756
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/027IPC分类号G;0;3;F;7;/;0;2;7;;;G;0;3;F;7;/;0;3;3查看分类表>
申请人AZ电子材料美国公司申请人地址
德国达姆施塔特 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人默克专利有限公司当前权利人默克专利有限公司
发明人G·帕夫洛夫斯基;陈春伟;J·奥伯兰德;R·普拉斯
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所代理人王健
摘要
本发明涉及负性光致抗蚀剂组合物,包含a)至少一种碱溶性聚合物,其中该聚合物包含至少一个结构(I)单元,其中R′独立地选自氢、(C1-C4)烷基、氯、溴,m是1-4的整数,b)至少一种结构(II)的单体,其中W是多价连接基,R1-R6独立地选自氢、羟基、(C1-C20)烷基和氯,X1和X2独立地是氧或N-R7,其中R7是氢或(C1-C20)烷基,n是等于或大于1的整数,和c)至少一种光引发剂。本发明还涉及负性光致抗蚀剂组合物的成像方法。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供